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外延钟罩清洗机

𒊎机台领域: 机台可以使用非贸易延石英石钟罩的清洁;产品工件使用内部结构生锈清洁并吹干,第三方使用用水洗涤。

使用钟罩款型:3061;630/680

产品详情

※ 机台称谓:外延性钟罩清洁工作机。

※ 调控模试: 人工机械调控模试   主动调控模试。

※ 机台次数:整台。

※ 机台权重:1000Kg(估算值)。

※ 除污效率:朋友供应图样及详情指标,1 Pcs/cassette。

※ 进行维护清洁措施: 湿法喷淋泵+喷(烘)干。

ཧ※ 机台封皮:采用意大利ROCHLING企业品牌之聚丙稀磁白PP钢板(机的薄厚10mm) 。

🤡※ 主耍结构的面料:使用的美国ROCHLING国产品牌之PP磁白PP产品(薄厚10mm) 。

☂※ 机台视窗:实用德国的ROCHLING产品透明度、抗靜電之聚氯丁二烯PVC(料厚5mm) 。

※ 机台电脑主机承载力结构的特征:整体布局40*40碳素钢金屬结构的特征骨架。

※ 防漏盘:配备有工作式聚丙乙烯磁白PP钢板防漏盘。

🌃※ 通风口装置:通风口强有力适当合理装修设计,以便让通风口成果实现佳,通风口过道内具有风口尺寸扰流板板,以便让便于方法考生会按照情況当即调通风口量,方法考生可小范畴调机台通风口背板上的可拆除式通风口护拦去配合机台视窗上的可变进气板块便用实现佳便用成果。

🐓※ 机台运行开关面板拥有EMO急停按钮图片;减排口装有可拆下来过滤程序网试验器,以免碎硅渣流入洗涤 通风管道设计;存在漏电断路保护措施英文试验器,高压电器箱体部通入减少水汽是 压保护措施英文。

※ 安全卫生互锁仪器: 都有轴类传感器器,有传感器到轴类后才允许的始于擦拭工艺技术。

※ 防腐蚀方法流程智能补药液切实保障了方法流程槽在运动具体步骤中酸度的增强性。

※ 可跟据应该定时开关化学发光法增加槽体药液。

ꦬ※ 加工工艺技术参数(温,事件,DIW水清洁形式 、事件调节器)手动式由手触屏菜单栏可设置好。

※ 新线路手动化把控好,的工艺的过程 中还没有劳动力干涉,提高产品设备机械性能的不一性;

※  清洗流程:首先人工手动将石英钟罩放入清洗立式活动腔体定位区域内,通过人工目测确认后手动将石英钟罩位置检测探头定位锁紧(与安全监测装置互锁);检查水、电、气正常,活动门(双层)封闭,然后启动按钮→进入一次DIW清洗程序→一般废水主排放管路→进入稀酸洗程序→自动喷稀混酸(石英钟罩内壁)→自动卸酸排放至废酸管路→进入二次DIW清洗程序→一般废水主排放管路→进入浓酸洗程序→自动喷浓混酸(石英钟罩内壁)→自动卸酸排放至稀酸储液箱→进入三次DIW清洗程序→石英钟罩内壁DIW喷淋清洗(同时排水阀打开)→报警→HOT氮气内外壁吹干→合格报警→人工将石英钟罩取出清洗机,完成整个清洗工作。
 

※  特点&优点
*视窗为双层设计,操作安全                   *设备占地面积小(4.9㎡)
*喷淋装置喷淋均匀无死角                        *N2加热材料高纯无污染,in-line加热
*封压装置动作平稳,密封性强,耐腐蚀,多重检测  *温度自动校准
*软硬件互锁装置保证操作人员人身安全       *清洗能力是传统设备的2倍

※  厂务需求规范数据

1

主机电源

🧔AC380VA±10(五线制)50Hz±1% 10KW(估算值)的控制管路DC24V(符合要求中国大陆指定)

2

DI水压力差

💛0.35~0.45Mpa         管经:DN40*1              PVDF材質管道阀门;

3

CDA氧气源压强

ꦛ0.45~0.7Mpa          管子尺寸: Rc3/8—3/4*1        插管式插头+PFA管道阀门;

4

N2供气负荷

🌠0.3~0.45Mpa          管经: Rc3/8—3/4*1          插管式连接头+PFA导压管;

5

高温

23±1℃;

6

室内温度

53±5%;

7

通常情况下排水系统口

DN50*2     PVDF质材管道阀门;

8

废水释放公称直径

DN50*2     PVDF布料材质聚氨酯保温管;

9

排气口

ꦏ¢200mm*2    500-800m3/h*2(预测值能够 会按照厂务标准要求的调整);

10

装备后房处理三维空间尺寸图

500mm—800mm;