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槽式湿法冶程机械设备

全自动碳化硅外延最终清洗机

🔯生產支线为: Load,药液A槽1、QDR槽2……烘干槽N、Unload,共X个工艺工作台面, 操作在为6” *1 cassette晶舟入货,将晶舟处于Robot入货区域置,按紧『启动时键』,Robot将自然以夹持方式方法移至工艺槽进行设置之工艺,完整装备客观存在操作在之流程步骤,促成一直以来性自然操作的功能表。本装备电器电线电缆操作那部分首要件均利用国外进口高质量件,耐磨性是真的吗,运用期长;及腰背现有吸空调风口,为杜绝的污染气,手机用户需外接风管抽搐。机器台是IPC制造业电子设备加PLC操作的全自然操作系統。

 

产品详情

 好产品宝贝详情:

工程项目

证明

机台占比

1台(套);

机台含水量

XX Kg(预测值);

进行维护清洁本事(采购招标方出具cassette印刷品)

๊6inch     1cassette   / Batch    25 Pcs/cassette;

生产量耍求

ꦅ湿法治社会程洁净工艺流程XXXX  XXXPCS/ Run(根据30min/Run,50PCS/Run,22小时候/天,26天/月计算方式,预计值);

主设备形态(无尘度:百级无尘室)

地下室置放型;

机台封皮、最主要的成分才质

pp聚丙烯PP 10T();

防火阻燃聚乙烯PP10T ();

象牙色聚氯乙稀PVC 10T (√);


SUS304单弧面家具板1.5T();

机台视窗

材料做

乳白色之聚氯丁二烯PVC 5T   (√);

SUS304单弧面生态板材及钢化玻离5T();

玩法

上上下下升举式();

以内推拉式(√);

机台电脑主机挠度机构

整体化SUS304不透钢/合金钢设计骨架(40*40  40*80);

防漏盘

在材质

聚丙稀磁白PP家具板;

策略

分离式式每侧尺寸图比主设备基座长50mm;

漏液判断器

不锈钢材质

防水质材;

点式

单点式漏液查重sensor,内部管道区和防漏盘均安转漏液查重;

多种

技术校准

可以通过地脚整改机器设备级别;

装备电信

机械设备要装树脂材料万向轮以便机械设备电信功能;

台面板板

原料

¢5mm上下洞洞格局(√);

¢12mm之间洞洞结构设计();

相互邻近槽左右须有接水板,接水板须倾倒码放,什么的工具盛接鲜花花束经途时漏液(√);

状态

可拆式(√);

三合一式();

排风机设计

送风口位址

装置后顶面();

机 后中下部();

设配后背(√);

排烟管道过道型式

1)通风口管强有力合理化规划,为着通风口管效果好提升最适,通风口管渠道内要设功率扰流板板;

🌠2)想要利于操作人士管理只能根据状态及时的改善通风口机机量,操作人士管理可小领域改善机台通风口机机背板上的可拆开式(并能清理掉已经呈现的结晶体)通风口机机栅栏门配上合机台视窗上的可以调整进气板块操作达标最佳选择操作功效;

♕3)生产设备排烟入口通道的顶端带排液管,冷凝器循环的电镀废液采用管线排下来至机台U型湿市内与QDR排下来的废液混合型喂养配制并排下来至机台后才厂务废液专业级管线内;

4)生产技术腔内任何生产技术槽相对应的座位都会有可手动调节节的栅格排风管设计;

机台的电子控制体系体系

💜装在我们身体的前部; 触屏屏及交流电源把控按钮、户外照明等装在的装置正前头。各槽体的施工流程主装置全过程均由 PLC、IPC、温度控制器、感知器等包含。的装置有上电清理基本操作方法重置工作。4个机台可数据存储 X 套施工流程主装置秘方,基本操作方法者可确认触屏屏读取首先需要编制数好的施工流程主装置秘方。手机app工具app工包括施工流程主装置秘方性能使用、清理维修保养、半自动程序运行、工作状态监控主装置等场景。手机app工包括报警功能内容、历吏记录卡好、维修保养内容等app工具记录卡好。手机app工具app工包括 3 级备份進入应用管理员权限使用:区别为的装置选择题员、的装置项目师、施工流程主装置项目师,难以混用应用管理员权限;


规模特殊性

01)溢流工艺的应用,保证了药液槽之间的隔离效果和清洗的高洁净度;
02)优化配管设置,节约DIW消耗量;
03)工艺柔性化设计,工艺更改方便迅速;多工艺数据库,可供用户使用和存储;
04)整机在使用、运行过程中平稳、可靠、不产尘、无溢出油污等,需润滑的零件必须密封处理;
05)整机采用PLC控制,IPC显示,清洗槽定温控制,过温保护及超(兆)声低液位保护;
06)整机采用全封闭设计。设备运行峰值噪音小且操作、维护和维修方便;
07)整机耐酸碱溶液及挥发气体的腐蚀,电器元件正常安全使用;
08)机台设有紧急停止回路(EMO急停按钮,设备两端各一个),并按照标准设置接地保护断路器;
09)整机前后区隔离,底板倾斜设计,便于排液,最低处设有漏液报警,前后区域均设水枪,确保漏液及时冲洗;
10)清洗槽体及管路配有明显标识或防错设计,防止溶剂混用;
11)设计合理化的排风管路,使有机液挥发气体的污染最小化;
12)设备内部输水、输气管道管线布置于主体设备内部;
13)废水按照高氟、低氟、酸碱、酸碱含醇四类排放;
14)设备内废气总管路可用维护区水枪清洗,清洗废液流入有机、酸碱废液总管;
15)工艺溢流槽体都需具有外槽独立溢流方式,需采用四面溢流;如果无法实现,至少需要三面溢流;
16)  设备后方、左右两侧需留有方便维护、维修的窗口;
17)机台排风口处安装排风压力监测装置(带信号报警装置);
18)机台总进口处(N2或CDA)安装有压力监测装置(带信号报警装置);
19)工艺槽槽体倾斜式,便于排空;
20)机台电器部分具备正压N2保护,防止腐蚀;
21)溢流:IDLE TIME>SET TIME,溢流停止,达到节能目的;
22)废液排放,每个工艺槽采用独立排放管道,对应QDR也采用独立排放口;
23)排风,工艺腔内每个工艺槽对应位置都有可调节的栅格排风结构;
24)换液提醒功能,所有制程能根据配液时间或运行批次数量通知换酸;
25)工艺结束可以设置预先报警功能,预报警声音和实际报警声音要有所区分;
26)工艺说明: 自动传动,自动方式实现槽体间传送工件,手臂按照菜单选择流程作业,生产部人员选取菜单进行作业,这个过程全自动进行;
27)全程自动化控制,工艺过程中没有人工干预,保证产品性能的一致性;
28)搬运机械手的横向移动和纵向提升均采用日本伺服马达,闭环控制,定位精度≤1mm,可靠性高;采用双导轨结构及线性模块传动,几何曲线加减速运动,冲击小、运动平稳;
29)搬运机械手臂单独急停、暂停开关、系统急停开关和机械手马达电机自动过载保护等多重保护,确保操作者的安全;
30)搬运机械手臂设有防夹防撞预警装置(光电传感器、机械传感器、机械装置等),以保护操作人员安全;
31)上下料方向:左进右出,花篮水平放置;
32)颗粒指标,尺寸大于XX μm的颗粒,密度不超过XX个/cm2;
🌄33)目前金属离子残留测试,包括XX种元素:------,每一种金属元素残留指标均要求<XXcm-2。